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凈化工程室內(nèi)外的計(jì)算參數(shù)調(diào)整說(shuō)明

關(guān)于凈化工程計(jì)算的室內(nèi)外計(jì)算參數(shù)的確定:

無(wú)塵室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱(chēng)之為無(wú)塵室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。

1.室外環(huán)境含塵濃度 在空氣潔凈技術(shù)中,最常見(jiàn)的是以大于或等于0.5μm粒徑的塵埃粒子數(shù)量為準(zhǔn)的計(jì)數(shù)濃度。對(duì)于室外大氣塵濃度,不同的地域差異較大,通??梢苑秩?lèi)典型地區(qū)來(lái)統(tǒng)計(jì)。大量統(tǒng)計(jì)資料分析可得到我國(guó)這三類(lèi)典型地區(qū)的室外計(jì)數(shù)濃度: 工業(yè)城市:計(jì)數(shù)含塵濃度一般不超過(guò)3X105粒/L,最高約為106粒/L(屬?lài)?yán)重污染程度); 城市郊外(不包括郊外工業(yè)區(qū)):計(jì)數(shù)含塵濃度一般不超過(guò)2X105粒/L; 非工業(yè)區(qū)或農(nóng)村計(jì)數(shù)含塵濃度一般不超過(guò)1X105粒/L。 大量的研究表明,對(duì)于高效空氣凈化系統(tǒng)100級(jí)及以下的潔凈室,當(dāng)大氣塵濃度在106粒/L以?xún)?nèi)變化時(shí),對(duì)潔凈室合塵濃度的影響可以忽略不計(jì),所以通常作凈化設(shè)計(jì)計(jì)算時(shí)取106粒/L作為室外大氣塵濃度,這在工程處理上也是保險(xiǎn)的。

2.室內(nèi)單位容積發(fā)塵量 手術(shù)室內(nèi)發(fā)塵量主要包括人和建筑表面、設(shè)備表面等。實(shí)踐證明人的發(fā)塵量是最主要的,而且人的活動(dòng)對(duì)發(fā)塵量的影響也較大,在一般情況下,設(shè)計(jì)計(jì)算中可取: 靜止時(shí)人的發(fā)塵量為:105粒/(P·min) 活動(dòng)時(shí)人的平均發(fā)塵量:5x105粒/(P·min) 地面表面發(fā)塵量:1.25x104粒/9min·m2) 人員靜止時(shí):2潔凈手術(shù)室布置 目前國(guó)內(nèi)潔凈手術(shù)室的凈化等級(jí)一般為100、1000、10000、100000級(jí)四個(gè)等級(jí)。少數(shù)超過(guò)100級(jí)的和低于100000級(jí)的。潔凈手術(shù)室按室內(nèi)潔凈度的要求可布置為單向流潔凈室、準(zhǔn)單向流潔凈室和亂流潔凈室。
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